计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2012年
4期
289-293
,共5页
邓墨杰%高思田%卢明臻%杜华%魏小林
鄧墨傑%高思田%盧明臻%杜華%魏小林
산묵걸%고사전%로명진%두화%위소림
计量学%纳米力学测量系统%载荷因子%位移因子%溯源%校准
計量學%納米力學測量繫統%載荷因子%位移因子%溯源%校準
계량학%납미역학측량계통%재하인자%위이인자%소원%교준
对纳米力学测量系统在准静态压入模式下的载荷因子、位移因子的量值溯源校准方法进行了研究.通过一组标准砝码产生标准载荷,拟合标准砝码质量和传感器输出电压得到载荷因子；利用激光干涉仪测量压针位移,拟合干涉仪位移值和传感器输出电压得到位移因子.采用标准样品对校准结果进行了试验验证,校准后的纳米力学测量系统在国际比对测量中取得了良好结果.
對納米力學測量繫統在準靜態壓入模式下的載荷因子、位移因子的量值溯源校準方法進行瞭研究.通過一組標準砝碼產生標準載荷,擬閤標準砝碼質量和傳感器輸齣電壓得到載荷因子；利用激光榦涉儀測量壓針位移,擬閤榦涉儀位移值和傳感器輸齣電壓得到位移因子.採用標準樣品對校準結果進行瞭試驗驗證,校準後的納米力學測量繫統在國際比對測量中取得瞭良好結果.
대납미역학측량계통재준정태압입모식하적재하인자、위이인자적량치소원교준방법진행료연구.통과일조표준겁마산생표준재하,의합표준겁마질량화전감기수출전압득도재하인자；이용격광간섭의측량압침위이,의합간섭의위이치화전감기수출전압득도위이인자.채용표준양품대교준결과진행료시험험증,교준후적납미역학측량계통재국제비대측량중취득료량호결과.
