计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2010年
1期
36-39
,共4页
杨富宝%金红杰%陈荣%程宏亮
楊富寶%金紅傑%陳榮%程宏亮
양부보%금홍걸%진영%정굉량
离子注入剂量%MOS C-V法%扩展电阻探针%热波法
離子註入劑量%MOS C-V法%擴展電阻探針%熱波法
리자주입제량%MOS C-V법%확전전조탐침%열파법
在IC生产线上,对离子注入剂量的监控非常重要.目前,离子注入剂量的测试方法有很多种,它们在测试原理、仪器价格、测试灵敏度、样品制备和操作方便性等方面存在较大差异.本文重点介绍了MOS C-V法、扩展电阻探针(SRP)法和热波(TW)法的测试原理和测试过程,并比较分析了上述各种测试方法的优缺点,从而给实际工作中选择合适的测试方法监控离子注入剂量提供参考.
在IC生產線上,對離子註入劑量的鑑控非常重要.目前,離子註入劑量的測試方法有很多種,它們在測試原理、儀器價格、測試靈敏度、樣品製備和操作方便性等方麵存在較大差異.本文重點介紹瞭MOS C-V法、擴展電阻探針(SRP)法和熱波(TW)法的測試原理和測試過程,併比較分析瞭上述各種測試方法的優缺點,從而給實際工作中選擇閤適的測試方法鑑控離子註入劑量提供參攷.
재IC생산선상,대리자주입제량적감공비상중요.목전,리자주입제량적측시방법유흔다충,타문재측시원리、의기개격、측시령민도、양품제비화조작방편성등방면존재교대차이.본문중점개소료MOS C-V법、확전전조탐침(SRP)법화열파(TW)법적측시원리화측시과정,병비교분석료상술각충측시방법적우결점,종이급실제공작중선택합괄적측시방법감공리자주입제량제공삼고.
