机械设计
機械設計
궤계설계
Journal of Machine Design
2004年
2期
17-19
,共3页
微电子机械系统(MEMS)%尺寸效应%泛函分析%灵敏度%微器件
微電子機械繫統(MEMS)%呎吋效應%汎函分析%靈敏度%微器件
미전자궤계계통(MEMS)%척촌효응%범함분석%령민도%미기건
尺寸效应涉及微电子机械系统研究领域的各个方面,在分析归纳微器件或系统中尺寸对其特性影响的基础上,提出从纯尺寸因素和非尺寸因素综合考虑尺寸效应,建立了一个尺寸效应的基本数学模型,并从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面对该数学模型进行泛函分析,总结出一些尺寸效应的发生规律.
呎吋效應涉及微電子機械繫統研究領域的各箇方麵,在分析歸納微器件或繫統中呎吋對其特性影響的基礎上,提齣從純呎吋因素和非呎吋因素綜閤攷慮呎吋效應,建立瞭一箇呎吋效應的基本數學模型,併從呎吋汎函的絕對值、相對值和對呎吋的靈敏度三箇方麵對該數學模型進行汎函分析,總結齣一些呎吋效應的髮生規律.
척촌효응섭급미전자궤계계통연구영역적각개방면,재분석귀납미기건혹계통중척촌대기특성영향적기출상,제출종순척촌인소화비척촌인소종합고필척촌효응,건립료일개척촌효응적기본수학모형,병종척촌범함적절대치、상대치화대척촌적령민도삼개방면대해수학모형진행범함분석,총결출일사척촌효응적발생규률.
