光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2005年
1期
107-109,113
,共4页
沈自才%宋永香%王英剑%范正修%邵建达
瀋自纔%宋永香%王英劍%範正脩%邵建達
침자재%송영향%왕영검%범정수%소건체
非均匀性%增透膜%拟合
非均勻性%增透膜%擬閤
비균균성%증투막%의합
通过对基底与膜层、膜层之间界面处非均匀性对增透膜增透性能影响的讨论,得到以下结论:在沉积初期,由于基底表面特性和沉积参数的波动,从而在基底与膜层之间产生过渡层,使增透性能减弱,对增透膜的增透效果影响较大;在膜层之间的过渡层,正余弦过渡使增透性能变强,双曲、指数使增透性能减弱,但影响较小,线性渐变基本没有影响.实验镀制了增透膜并对其进行拟合分析,发现基底与膜层以及膜层之间的过渡层按正余弦变化时与实验结果比较吻合,并给予了解释.
通過對基底與膜層、膜層之間界麵處非均勻性對增透膜增透性能影響的討論,得到以下結論:在沉積初期,由于基底錶麵特性和沉積參數的波動,從而在基底與膜層之間產生過渡層,使增透性能減弱,對增透膜的增透效果影響較大;在膜層之間的過渡層,正餘絃過渡使增透性能變彊,雙麯、指數使增透性能減弱,但影響較小,線性漸變基本沒有影響.實驗鍍製瞭增透膜併對其進行擬閤分析,髮現基底與膜層以及膜層之間的過渡層按正餘絃變化時與實驗結果比較吻閤,併給予瞭解釋.
통과대기저여막층、막층지간계면처비균균성대증투막증투성능영향적토론,득도이하결론:재침적초기,유우기저표면특성화침적삼수적파동,종이재기저여막층지간산생과도층,사증투성능감약,대증투막적증투효과영향교대;재막층지간적과도층,정여현과도사증투성능변강,쌍곡、지수사증투성능감약,단영향교소,선성점변기본몰유영향.실험도제료증투막병대기진행의합분석,발현기저여막층이급막층지간적과도층안정여현변화시여실험결과비교문합,병급여료해석.
