激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2005年
3期
177-180
,共4页
刘豫东%杜红燕%张刚%董硕%马莒生
劉豫東%杜紅燕%張剛%董碩%馬莒生
류예동%두홍연%장강%동석%마거생
InSb%Cd掺杂%位错密度%半高宽%X光貌相
InSb%Cd摻雜%位錯密度%半高寬%X光貌相
InSb%Cd참잡%위착밀도%반고관%X광모상
文章采用了双晶衍射和同步辐射X射线貌相实验手段,对扩散掺杂Cd前后InSb单晶中位错密度的变化进行了对比分析.研究证实了扩散会导致InSb位错密度增加,导致双晶衍射的半高宽增加.较低的半高宽数值对应的X射线貌相中未观察到位错线,只有具有较高的半高宽数值的InSb单晶的X射线貌相上才显示了位错线.本文认为酸蚀可以有效去除InSb浅表面的高缺陷层.
文章採用瞭雙晶衍射和同步輻射X射線貌相實驗手段,對擴散摻雜Cd前後InSb單晶中位錯密度的變化進行瞭對比分析.研究證實瞭擴散會導緻InSb位錯密度增加,導緻雙晶衍射的半高寬增加.較低的半高寬數值對應的X射線貌相中未觀察到位錯線,隻有具有較高的半高寬數值的InSb單晶的X射線貌相上纔顯示瞭位錯線.本文認為痠蝕可以有效去除InSb淺錶麵的高缺陷層.
문장채용료쌍정연사화동보복사X사선모상실험수단,대확산참잡Cd전후InSb단정중위착밀도적변화진행료대비분석.연구증실료확산회도치InSb위착밀도증가,도치쌍정연사적반고관증가.교저적반고관수치대응적X사선모상중미관찰도위착선,지유구유교고적반고관수치적InSb단정적X사선모상상재현시료위착선.본문인위산식가이유효거제InSb천표면적고결함층.
