红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2006年
1期
19-22
,共4页
何雯瑾%杨培志%太云见%杨春丽%袁俊%杨宇
何雯瑾%楊培誌%太雲見%楊春麗%袁俊%楊宇
하문근%양배지%태운견%양춘려%원준%양우
牺牲层制备%微桥结构%图形化%光敏型聚酰亚胺
犧牲層製備%微橋結構%圖形化%光敏型聚酰亞胺
희생층제비%미교결구%도형화%광민형취선아알
研究了牺牲层制备的工艺过程.通过对牺牲层材料选择、牺牲层图形化及牺牲层固化等工艺技术的研究,获得了图形质量较好的牺牲层样品.建立了优化的牺牲层制备工艺制度,为探测器的后续研究奠定了基础.
研究瞭犧牲層製備的工藝過程.通過對犧牲層材料選擇、犧牲層圖形化及犧牲層固化等工藝技術的研究,穫得瞭圖形質量較好的犧牲層樣品.建立瞭優化的犧牲層製備工藝製度,為探測器的後續研究奠定瞭基礎.
연구료희생층제비적공예과정.통과대희생층재료선택、희생층도형화급희생층고화등공예기술적연구,획득료도형질량교호적희생층양품.건립료우화적희생층제비공예제도,위탐측기적후속연구전정료기출.
