真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
1期
78-82
,共5页
韩东麟%张弓%庄大明%元金石%李春雷
韓東麟%張弓%莊大明%元金石%李春雷
한동린%장궁%장대명%원금석%리춘뢰
太阳能电池%Cu(In1-xGa)Se2%磁控溅射%预制膜%硒化
太暘能電池%Cu(In1-xGa)Se2%磁控濺射%預製膜%硒化
태양능전지%Cu(In1-xGa)Se2%자공천사%예제막%서화
采用中频交流磁控溅射方法,在玻璃基底上依次沉积了Mo、CuIn、CuGa薄膜,制备了CuInGa(CIG)层预制膜,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了CuGa层制备过程中工作气压的改变,对CIGS薄膜结构和形貌的影响.采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构.结果表明,改变溅射制备CuGa层的工作气压,所获得的CIG双层预制膜均由Cu11 In9、CuIn和CuGa组成.在溅射制备CuGa层的工作气压为1.0 Pa的条件下所获得的CIG双层预制膜经过硒化后,获得的CIGS薄膜致密.采用不同结构的双层预制膜,在不同的硒化时间下制备的CIGS薄膜,均具有黄铜矿相结构,薄膜具有(112)面的择优取向.
採用中頻交流磁控濺射方法,在玻璃基底上依次沉積瞭Mo、CuIn、CuGa薄膜,製備瞭CuInGa(CIG)層預製膜,採用固態硒化法製備穫得瞭Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收層薄膜,攷察瞭CuGa層製備過程中工作氣壓的改變,對CIGS薄膜結構和形貌的影響.採用SEM和EDS觀察和分析瞭薄膜的錶麵形貌和成分,採用XRD錶徵瞭薄膜的組織結構.結果錶明,改變濺射製備CuGa層的工作氣壓,所穫得的CIG雙層預製膜均由Cu11 In9、CuIn和CuGa組成.在濺射製備CuGa層的工作氣壓為1.0 Pa的條件下所穫得的CIG雙層預製膜經過硒化後,穫得的CIGS薄膜緻密.採用不同結構的雙層預製膜,在不同的硒化時間下製備的CIGS薄膜,均具有黃銅礦相結構,薄膜具有(112)麵的擇優取嚮.
채용중빈교류자공천사방법,재파리기저상의차침적료Mo、CuIn、CuGa박막,제비료CuInGa(CIG)층예제막,채용고태서화법제비획득료Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)흡수층박막,고찰료CuGa층제비과정중공작기압적개변,대CIGS박막결구화형모적영향.채용SEM화EDS관찰화분석료박막적표면형모화성분,채용XRD표정료박막적조직결구.결과표명,개변천사제비CuGa층적공작기압,소획득적CIG쌍층예제막균유Cu11 In9、CuIn화CuGa조성.재천사제비CuGa층적공작기압위1.0 Pa적조건하소획득적CIG쌍층예제막경과서화후,획득적CIGS박막치밀.채용불동결구적쌍층예제막,재불동적서화시간하제비적CIGS박막,균구유황동광상결구,박막구유(112)면적택우취향.
