南昌大学学报（理科版）
南昌大學學報（理科版）
남창대학학보（이과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2008年
1期
46-50
,共5页
外延薄膜%失配位错%分子动力学%铝
外延薄膜%失配位錯%分子動力學%鋁
외연박막%실배위착%분자동역학%려
运用分子动力学方法模拟研究了沉积原子的不同落点对外延铝薄膜中失配位错的诱发作用.铝原子间相互作用势为嵌入原子法(EAM)多体势.模拟结果显示,在600 K下15个原子层厚失配度为-0.06的外延铝膜中,沉积原子入射在FCC位置和HCP位置上比入射在表面原子的正上方上更容易引起失配位错形成,沉积原子入射在表面两个相邻原子连线的中点上则不能形成位错;失配位错的形核方式为挤出一个小倒正四面体构型的原子团,但其挤出方式有二种:当入射在FCC位置和HCP位置时,均为挤出一个底面平行于薄膜表面的倒正四面体构型的原子团;当入射在表面相邻两个原子连线的中点上时,挤出一个底面与薄膜表面成一定角度的倒正四面体构型的原子团.
運用分子動力學方法模擬研究瞭沉積原子的不同落點對外延鋁薄膜中失配位錯的誘髮作用.鋁原子間相互作用勢為嵌入原子法(EAM)多體勢.模擬結果顯示,在600 K下15箇原子層厚失配度為-0.06的外延鋁膜中,沉積原子入射在FCC位置和HCP位置上比入射在錶麵原子的正上方上更容易引起失配位錯形成,沉積原子入射在錶麵兩箇相鄰原子連線的中點上則不能形成位錯;失配位錯的形覈方式為擠齣一箇小倒正四麵體構型的原子糰,但其擠齣方式有二種:噹入射在FCC位置和HCP位置時,均為擠齣一箇底麵平行于薄膜錶麵的倒正四麵體構型的原子糰;噹入射在錶麵相鄰兩箇原子連線的中點上時,擠齣一箇底麵與薄膜錶麵成一定角度的倒正四麵體構型的原子糰.
운용분자동역학방법모의연구료침적원자적불동낙점대외연려박막중실배위착적유발작용.려원자간상호작용세위감입원자법(EAM)다체세.모의결과현시,재600 K하15개원자층후실배도위-0.06적외연려막중,침적원자입사재FCC위치화HCP위치상비입사재표면원자적정상방상경용역인기실배위착형성,침적원자입사재표면량개상린원자련선적중점상칙불능형성위착;실배위착적형핵방식위제출일개소도정사면체구형적원자단,단기제출방식유이충:당입사재FCC위치화HCP위치시,균위제출일개저면평행우박막표면적도정사면체구형적원자단;당입사재표면상린량개원자련선적중점상시,제출일개저면여박막표면성일정각도적도정사면체구형적원자단.
