材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2009年
4期
426-430
,共5页
王怀义%刁训刚%王武育%郝维昌%王聪%王天民
王懷義%刁訓剛%王武育%郝維昌%王聰%王天民
왕부의%조훈강%왕무육%학유창%왕총%왕천민
无机非金属材料%磁控溅射%纳米微晶态%电致变色%NiOx薄膜
無機非金屬材料%磁控濺射%納米微晶態%電緻變色%NiOx薄膜
무궤비금속재료%자공천사%납미미정태%전치변색%NiOx박막
使用一种配套于磁控溅射设备的基片液氮冷却装置制备了小颗粒度纳米微晶NiOx电致变色薄膜.当溅射参数完全相同时,借助于对基片的冷却可有效控制并降低NiOx薄膜的晶粒尺度.冷却基片所制备的NiOx薄膜的电致变色性能明显优于室温时制备的薄膜,且该薄膜的O/Ni比率也明显高于室温时制备的NiOx薄膜的O/Ni比率.
使用一種配套于磁控濺射設備的基片液氮冷卻裝置製備瞭小顆粒度納米微晶NiOx電緻變色薄膜.噹濺射參數完全相同時,藉助于對基片的冷卻可有效控製併降低NiOx薄膜的晶粒呎度.冷卻基片所製備的NiOx薄膜的電緻變色性能明顯優于室溫時製備的薄膜,且該薄膜的O/Ni比率也明顯高于室溫時製備的NiOx薄膜的O/Ni比率.
사용일충배투우자공천사설비적기편액담냉각장치제비료소과립도납미미정NiOx전치변색박막.당천사삼수완전상동시,차조우대기편적냉각가유효공제병강저NiOx박막적정립척도.냉각기편소제비적NiOx박막적전치변색성능명현우우실온시제비적박막,차해박막적O/Ni비솔야명현고우실온시제비적NiOx박막적O/Ni비솔.
