仪表技术
儀錶技術
의표기술
2011年
3期
68-70
,共3页
气动腔%平板电容%红外探测器%微电子机械系统
氣動腔%平闆電容%紅外探測器%微電子機械繫統
기동강%평판전용%홍외탐측기%미전자궤계계통
文章提出了一种用于气体检测的MEMS电容式红外发光强度探测器.结合理论推导和仿真分析确定了该探测器的尺寸大小,并对其制作工艺流程做了叙述.它基于气体的红外吸收热效应,借助弹性薄膜的形变将热量变化转变为电容量变化,再经基于运算放大器的电容微传感器检测电路以电压信号输出.将它与环境气室采用MEMS技术一体化,能够得到体积小、精度高和可批量生产的气体检测装置.
文章提齣瞭一種用于氣體檢測的MEMS電容式紅外髮光彊度探測器.結閤理論推導和倣真分析確定瞭該探測器的呎吋大小,併對其製作工藝流程做瞭敘述.它基于氣體的紅外吸收熱效應,藉助彈性薄膜的形變將熱量變化轉變為電容量變化,再經基于運算放大器的電容微傳感器檢測電路以電壓信號輸齣.將它與環境氣室採用MEMS技術一體化,能夠得到體積小、精度高和可批量生產的氣體檢測裝置.
문장제출료일충용우기체검측적MEMS전용식홍외발광강도탐측기.결합이론추도화방진분석학정료해탐측기적척촌대소,병대기제작공예류정주료서술.타기우기체적홍외흡수열효응,차조탄성박막적형변장열량변화전변위전용량변화,재경기우운산방대기적전용미전감기검측전로이전압신호수출.장타여배경기실채용MEMS기술일체화,능구득도체적소、정도고화가비량생산적기체검측장치.
