热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2011年
24期
163-165
,共3页
陈书民%朱冬梅%周万城%罗发
陳書民%硃鼕梅%週萬城%囉髮
진서민%주동매%주만성%라발
ZrO2薄膜%直流反应磁控溅射%扩散阻挡层%热处理
ZrO2薄膜%直流反應磁控濺射%擴散阻擋層%熱處理
ZrO2박막%직류반응자공천사%확산조당층%열처리
采用DC反应磁控溅射工艺在K424合金基底上制备了ZrO2薄膜,并对薄膜进行了不同温度的热处理,采用XRD、SEM和EDS等分析手段对薄膜的表面形貌、成分及晶体结构进行了表征,并研究了ZrO2薄膜对基底元素扩散的阻挡能力.结果表明,热处理后薄膜主要为单斜相ZrO2,含少量四方相.800℃以下热处理的薄膜致密平整,无裂纹出现,900℃热处理后基底元素Ti扩散至薄膜表面生成TiO2,导致ZrO2薄膜阻挡扩散作用失效.800℃以下热处理的ZrO2薄膜可以有效阻挡镍基合金元素的扩散.
採用DC反應磁控濺射工藝在K424閤金基底上製備瞭ZrO2薄膜,併對薄膜進行瞭不同溫度的熱處理,採用XRD、SEM和EDS等分析手段對薄膜的錶麵形貌、成分及晶體結構進行瞭錶徵,併研究瞭ZrO2薄膜對基底元素擴散的阻擋能力.結果錶明,熱處理後薄膜主要為單斜相ZrO2,含少量四方相.800℃以下熱處理的薄膜緻密平整,無裂紋齣現,900℃熱處理後基底元素Ti擴散至薄膜錶麵生成TiO2,導緻ZrO2薄膜阻擋擴散作用失效.800℃以下熱處理的ZrO2薄膜可以有效阻擋鎳基閤金元素的擴散.
채용DC반응자공천사공예재K424합금기저상제비료ZrO2박막,병대박막진행료불동온도적열처리,채용XRD、SEM화EDS등분석수단대박막적표면형모、성분급정체결구진행료표정,병연구료ZrO2박막대기저원소확산적조당능력.결과표명,열처리후박막주요위단사상ZrO2,함소량사방상.800℃이하열처리적박막치밀평정,무렬문출현,900℃열처리후기저원소Ti확산지박막표면생성TiO2,도치ZrO2박막조당확산작용실효.800℃이하열처리적ZrO2박막가이유효조당얼기합금원소적확산.
