核聚变与等离子体物理
覈聚變與等離子體物理
핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2007年
1期
73-76
,共4页
离子束源%电感耦合等离子体%天线
離子束源%電感耦閤等離子體%天線
리자속원%전감우합등리자체%천선
为了更好地提高引出离子束的均匀性,对离子束刻蚀用矩形射频电感耦合等离子体(ICP)离子束源提出了三种线圈的设计方法,并对这三种线圈激发的电场进行了数值计算和比较.结果表明,直线段式不等距天线和并联多螺旋不等距天线线圈能够产生均匀性良好的电场,且其耦合效率高.
為瞭更好地提高引齣離子束的均勻性,對離子束刻蝕用矩形射頻電感耦閤等離子體(ICP)離子束源提齣瞭三種線圈的設計方法,併對這三種線圈激髮的電場進行瞭數值計算和比較.結果錶明,直線段式不等距天線和併聯多螺鏇不等距天線線圈能夠產生均勻性良好的電場,且其耦閤效率高.
위료경호지제고인출리자속적균균성,대리자속각식용구형사빈전감우합등리자체(ICP)리자속원제출료삼충선권적설계방법,병대저삼충선권격발적전장진행료수치계산화비교.결과표명,직선단식불등거천선화병련다라선불등거천선선권능구산생균균성량호적전장,차기우합효솔고.
