北京科技大学学报
北京科技大學學報
북경과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY BEIJING
2007年
4期
408-412,446
,共6页
刘素田%刘伟%黑立富%唐伟忠%吕反修
劉素田%劉偉%黑立富%唐偉忠%呂反脩
류소전%류위%흑립부%당위충%려반수
金刚石涂层%微波等离子体化学气相沉积%八甲基环四硅氧烷%硬质合金%附着力
金剛石塗層%微波等離子體化學氣相沉積%八甲基環四硅氧烷%硬質閤金%附著力
금강석도층%미파등리자체화학기상침적%팔갑기배사규양완%경질합금%부착력
利用微波等离子体辅助化学气相沉积的方法,以H2、CH4和D4(八甲基环四硅氧烷)为沉积先驱物,探索了一种在硬质合金基底上制备出含Si元素的金刚石涂层的新工艺. 试图利用这种新的方法,进一步提高金刚石涂层对硬质合金基底的附着力. 实验结果表明:当D4的流量相对CH4的流量较大时,得到球团状的胞状组织;只有当D4和CH4的流量相当的情况下,才能沉积出质量较好的金刚石涂层,同时又含有少量的Si使金刚石涂层的附着力较好.
利用微波等離子體輔助化學氣相沉積的方法,以H2、CH4和D4(八甲基環四硅氧烷)為沉積先驅物,探索瞭一種在硬質閤金基底上製備齣含Si元素的金剛石塗層的新工藝. 試圖利用這種新的方法,進一步提高金剛石塗層對硬質閤金基底的附著力. 實驗結果錶明:噹D4的流量相對CH4的流量較大時,得到毬糰狀的胞狀組織;隻有噹D4和CH4的流量相噹的情況下,纔能沉積齣質量較好的金剛石塗層,同時又含有少量的Si使金剛石塗層的附著力較好.
이용미파등리자체보조화학기상침적적방법,이H2、CH4화D4(팔갑기배사규양완)위침적선구물,탐색료일충재경질합금기저상제비출함Si원소적금강석도층적신공예. 시도이용저충신적방법,진일보제고금강석도층대경질합금기저적부착력. 실험결과표명:당D4적류량상대CH4적류량교대시,득도구단상적포상조직;지유당D4화CH4적류량상당적정황하,재능침적출질량교호적금강석도층,동시우함유소량적Si사금강석도층적부착력교호.
