中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2008年
10期
1591-1594
,共4页
王善成%方明%易葵%邵淑英%范正修
王善成%方明%易葵%邵淑英%範正脩
왕선성%방명%역규%소숙영%범정수
薄膜%薄膜工艺%速率控制%比列积分微分控制
薄膜%薄膜工藝%速率控製%比列積分微分控製
박막%박막공예%속솔공제%비렬적분미분공제
介绍了电子束蒸发镀膜速率控制的基本原理和方法,选取实际生产中大量使用且蒸发特性较难控制的SiO2和HfO2,对两者的电子束蒸发速率控制分别进行了实验研究.采用比例积分微分(PID)闭环反馈控制,通过Ziegler-Nichols工程经验公式进行原始参最整定,并在实验的基础上对控制器的原始参量进行调整以及对积分作用和微分作用进行分区处理,速率控制的实验结果表明,采用该参量整定方法并结合工艺流程的改进,能获得良好的速率控制.针对速率控制中存在的难点问题进行了分析,并提出改进措施:将速率控制和电子枪扫描控制相结合能进一步改善速率控制.
介紹瞭電子束蒸髮鍍膜速率控製的基本原理和方法,選取實際生產中大量使用且蒸髮特性較難控製的SiO2和HfO2,對兩者的電子束蒸髮速率控製分彆進行瞭實驗研究.採用比例積分微分(PID)閉環反饋控製,通過Ziegler-Nichols工程經驗公式進行原始參最整定,併在實驗的基礎上對控製器的原始參量進行調整以及對積分作用和微分作用進行分區處理,速率控製的實驗結果錶明,採用該參量整定方法併結閤工藝流程的改進,能穫得良好的速率控製.針對速率控製中存在的難點問題進行瞭分析,併提齣改進措施:將速率控製和電子鎗掃描控製相結閤能進一步改善速率控製.
개소료전자속증발도막속솔공제적기본원리화방법,선취실제생산중대량사용차증발특성교난공제적SiO2화HfO2,대량자적전자속증발속솔공제분별진행료실험연구.채용비례적분미분(PID)폐배반궤공제,통과Ziegler-Nichols공정경험공식진행원시삼최정정,병재실험적기출상대공제기적원시삼량진행조정이급대적분작용화미분작용진행분구처리,속솔공제적실험결과표명,채용해삼량정정방법병결합공예류정적개진,능획득량호적속솔공제.침대속솔공제중존재적난점문제진행료분석,병제출개진조시:장속솔공제화전자창소묘공제상결합능진일보개선속솔공제.
