导航与控制
導航與控製
도항여공제
NAVIGATION AND CONTROL
2009年
4期
66-70
,共5页
邢朝洋%王巍%徐宇新%赵采凡
邢朝洋%王巍%徐宇新%趙採凡
형조양%왕외%서우신%조채범
硅微加速度计%系统级%仿真
硅微加速度計%繫統級%倣真
규미가속도계%계통급%방진
本文探讨了硅微加速度计的系统设计方法,采用专用MEMS设计软件建立了"三明治"式硅微加速度计自顶向下的系统模型,该模型对于硅微加速度计的系统设计和优化具有指导意义.通过优化改进设计,目前硅微加速度计零位重复性已达到2×10-4g(3个月,1σ),正在开展探月二期工程的应用研究.
本文探討瞭硅微加速度計的繫統設計方法,採用專用MEMS設計軟件建立瞭"三明治"式硅微加速度計自頂嚮下的繫統模型,該模型對于硅微加速度計的繫統設計和優化具有指導意義.通過優化改進設計,目前硅微加速度計零位重複性已達到2×10-4g(3箇月,1σ),正在開展探月二期工程的應用研究.
본문탐토료규미가속도계적계통설계방법,채용전용MEMS설계연건건립료"삼명치"식규미가속도계자정향하적계통모형,해모형대우규미가속도계적계통설계화우화구유지도의의.통과우화개진설계,목전규미가속도계령위중복성이체도2×10-4g(3개월,1σ),정재개전탐월이기공정적응용연구.
