电子与封装
電子與封裝
전자여봉장
EIECTRONICS AND PACKAGING
2010年
8期
41-43,47
,共4页
参数测试%可靠性%高温%应力
參數測試%可靠性%高溫%應力
삼수측시%가고성%고온%응력
在半导体制造工业中,参数测试作为有效的对在线制品的监控手段,一方面反映了工艺线的工艺水平状况,另一方面它也是制造公司与设计公司之间进行沟通的主要依据.而对于新工艺研发来说,参数测量及分析更是整个研发过程中极其重要的一部分,及时准确的参数测量结果是产品工程师快速作出工艺研发方向的判断依据.因此,芯片参数测量分析的主要作用在于:在工业生产中得到大量的测量数据,用于评价工艺设备、半导体材料和电路结构,监视和控制工艺和器件参数的均匀性、重复性、协调性,分析工艺中存在的缺陷,诊断电路性能失常规律,预测成品率,预报可靠性信息等等.文章主要介绍了运用参数测试对在线工艺异常进行可靠性评估的方法.
在半導體製造工業中,參數測試作為有效的對在線製品的鑑控手段,一方麵反映瞭工藝線的工藝水平狀況,另一方麵它也是製造公司與設計公司之間進行溝通的主要依據.而對于新工藝研髮來說,參數測量及分析更是整箇研髮過程中極其重要的一部分,及時準確的參數測量結果是產品工程師快速作齣工藝研髮方嚮的判斷依據.因此,芯片參數測量分析的主要作用在于:在工業生產中得到大量的測量數據,用于評價工藝設備、半導體材料和電路結構,鑑視和控製工藝和器件參數的均勻性、重複性、協調性,分析工藝中存在的缺陷,診斷電路性能失常規律,預測成品率,預報可靠性信息等等.文章主要介紹瞭運用參數測試對在線工藝異常進行可靠性評估的方法.
재반도체제조공업중,삼수측시작위유효적대재선제품적감공수단,일방면반영료공예선적공예수평상황,령일방면타야시제조공사여설계공사지간진행구통적주요의거.이대우신공예연발래설,삼수측량급분석경시정개연발과정중겁기중요적일부분,급시준학적삼수측량결과시산품공정사쾌속작출공예연발방향적판단의거.인차,심편삼수측량분석적주요작용재우:재공업생산중득도대량적측량수거,용우평개공예설비、반도체재료화전로결구,감시화공제공예화기건삼수적균균성、중복성、협조성,분석공예중존재적결함,진단전로성능실상규률,예측성품솔,예보가고성신식등등.문장주요개소료운용삼수측시대재선공예이상진행가고성평고적방법.
