人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2005年
4期
700-703
,共4页
王向阳%钱(纁)%蔡以超%何莉%肖红涛
王嚮暘%錢(纁)%蔡以超%何莉%肖紅濤
왕향양%전(훈)%채이초%하리%초홍도
CVD%ZnS%ZnSe%化学反应
CVD%ZnS%ZnSe%化學反應
CVD%ZnS%ZnSe%화학반응
本文详细分析了用单质硫或单质硒为原料,在Zn-S-H2-Ar体系或Zn-Se-H2-Ar体系中化学气相沉积生长 ZnS和ZnSe晶体所发生的化学反应,认为在这两种化学气相沉积过程中所发生的化学反应是以锌蒸汽与硫或硒蒸汽反应来实现的.计算出了上述反应的△H、△S和△G这些热力学函数,并将该△G与采用H2S气体(Zn-H2S-Ar体系)和H2Se气体(Zn-H2Se-Ar体系)为原料的CVD ZnS和ZnSe做了对比.实验结果表明,以单质Se为原料生长的CVD ZnSe比以H2Se为原料的CVD ZnSe的努普硬度有显著的提高.
本文詳細分析瞭用單質硫或單質硒為原料,在Zn-S-H2-Ar體繫或Zn-Se-H2-Ar體繫中化學氣相沉積生長 ZnS和ZnSe晶體所髮生的化學反應,認為在這兩種化學氣相沉積過程中所髮生的化學反應是以鋅蒸汽與硫或硒蒸汽反應來實現的.計算齣瞭上述反應的△H、△S和△G這些熱力學函數,併將該△G與採用H2S氣體(Zn-H2S-Ar體繫)和H2Se氣體(Zn-H2Se-Ar體繫)為原料的CVD ZnS和ZnSe做瞭對比.實驗結果錶明,以單質Se為原料生長的CVD ZnSe比以H2Se為原料的CVD ZnSe的努普硬度有顯著的提高.
본문상세분석료용단질류혹단질서위원료,재Zn-S-H2-Ar체계혹Zn-Se-H2-Ar체계중화학기상침적생장 ZnS화ZnSe정체소발생적화학반응,인위재저량충화학기상침적과정중소발생적화학반응시이자증기여류혹서증기반응래실현적.계산출료상술반응적△H、△S화△G저사열역학함수,병장해△G여채용H2S기체(Zn-H2S-Ar체계)화H2Se기체(Zn-H2Se-Ar체계)위원료적CVD ZnS화ZnSe주료대비.실험결과표명,이단질Se위원료생장적CVD ZnSe비이H2Se위원료적CVD ZnSe적노보경도유현저적제고.
