微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2005年
5期
237-243
,共7页
扫描探针显微镜%微悬臂%针尖
掃描探針顯微鏡%微懸臂%針尖
소묘탐침현미경%미현비%침첨
探讨了近几年来探针制备技术的发展和趋势,分别就探针检测性能的改进、探针结构、探针检测功能拓展及多通道信息采集组合探针等几方面,对相关制备技术的方法、特点以及相应检测条件、适用环境展开讨论,这些方面反映探针制备技术正朝着尖锐化、多样化、功能化和组合方向发展.
探討瞭近幾年來探針製備技術的髮展和趨勢,分彆就探針檢測性能的改進、探針結構、探針檢測功能拓展及多通道信息採集組閤探針等幾方麵,對相關製備技術的方法、特點以及相應檢測條件、適用環境展開討論,這些方麵反映探針製備技術正朝著尖銳化、多樣化、功能化和組閤方嚮髮展.
탐토료근궤년래탐침제비기술적발전화추세,분별취탐침검측성능적개진、탐침결구、탐침검측공능탁전급다통도신식채집조합탐침등궤방면,대상관제비기술적방법、특점이급상응검측조건、괄용배경전개토론,저사방면반영탐침제비기술정조착첨예화、다양화、공능화화조합방향발전.
