机电工程技术
機電工程技術
궤전공정기술
MACHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY
2005年
8期
18-19
,共2页
微机电系统(MEMS)%悬臂梁%二次梁理论%几何非线性
微機電繫統(MEMS)%懸臂樑%二次樑理論%幾何非線性
미궤전계통(MEMS)%현비량%이차량이론%궤하비선성
微机电系统(MEMS)中常作为和力有关的传感器使用的悬臂梁类型结构,在使用过程中经常会出现小变形、大位移的情况,这时传统的线性分析方法会导致较大的系统误差.本文基于二次梁理论给出了该几何非线性问题的理论解,其正确性通过有限元的数值计算结果得到验证.这个通过非线性分析得到的理论解不但校正了线性分析方法的系统误差,提高了系统精度,而且扩大了系统的有效使用范围.
微機電繫統(MEMS)中常作為和力有關的傳感器使用的懸臂樑類型結構,在使用過程中經常會齣現小變形、大位移的情況,這時傳統的線性分析方法會導緻較大的繫統誤差.本文基于二次樑理論給齣瞭該幾何非線性問題的理論解,其正確性通過有限元的數值計算結果得到驗證.這箇通過非線性分析得到的理論解不但校正瞭線性分析方法的繫統誤差,提高瞭繫統精度,而且擴大瞭繫統的有效使用範圍.
미궤전계통(MEMS)중상작위화력유관적전감기사용적현비량류형결구,재사용과정중경상회출현소변형、대위이적정황,저시전통적선성분석방법회도치교대적계통오차.본문기우이차량이론급출료해궤하비선성문제적이론해,기정학성통과유한원적수치계산결과득도험증.저개통과비선성분석득도적이론해불단교정료선성분석방법적계통오차,제고료계통정도,이차확대료계통적유효사용범위.
