功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
3期
182-186
,共5页
周勇%丁文%曹莹%商干兵%周志敏%高孝裕%余先育
週勇%丁文%曹瑩%商榦兵%週誌敏%高孝裕%餘先育
주용%정문%조형%상간병%주지민%고효유%여선육
巨磁阻抗效应%三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜%MEMS技术
巨磁阻抗效應%三明治結構FeNi/Cu/FeNi多層膜%MEMS技術
거자조항효응%삼명치결구FeNi/Cu/FeNi다층막%MEMS기술
采用MEMS技术在玻璃基片上制备了三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜,在1～40 MHz范围内研究了FeNi/Cu/FeNi多层膜中的巨磁阻抗效应特性.当磁场Ha施加在薄膜的长方向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一磁场下达到最大值,然后随磁场的增加而下降到负的巨磁阻抗效应.在频率为5MHz时,巨磁阻抗效应在磁场Ha=800 A/m时达到最大值26.6%.巨磁阻抗效应的最大值及负的巨磁阻抗效应与多层膜中磁各向异性轴的取向及发散有关.另外,当磁场施加在薄膜的短方向时,薄膜表现出负的巨磁阻抗效应,在频率5 MHz、磁场Ha=9600 A/m时,巨磁阻抗效应可达-15.6%.
採用MEMS技術在玻璃基片上製備瞭三明治結構FeNi/Cu/FeNi多層膜,在1～40 MHz範圍內研究瞭FeNi/Cu/FeNi多層膜中的巨磁阻抗效應特性.噹磁場Ha施加在薄膜的長方嚮時,巨磁阻抗效應隨磁場的增加而增加,在某一磁場下達到最大值,然後隨磁場的增加而下降到負的巨磁阻抗效應.在頻率為5MHz時,巨磁阻抗效應在磁場Ha=800 A/m時達到最大值26.6%.巨磁阻抗效應的最大值及負的巨磁阻抗效應與多層膜中磁各嚮異性軸的取嚮及髮散有關.另外,噹磁場施加在薄膜的短方嚮時,薄膜錶現齣負的巨磁阻抗效應,在頻率5 MHz、磁場Ha=9600 A/m時,巨磁阻抗效應可達-15.6%.
채용MEMS기술재파리기편상제비료삼명치결구FeNi/Cu/FeNi다층막,재1～40 MHz범위내연구료FeNi/Cu/FeNi다층막중적거자조항효응특성.당자장Ha시가재박막적장방향시,거자조항효응수자장적증가이증가,재모일자장하체도최대치,연후수자장적증가이하강도부적거자조항효응.재빈솔위5MHz시,거자조항효응재자장Ha=800 A/m시체도최대치26.6%.거자조항효응적최대치급부적거자조항효응여다층막중자각향이성축적취향급발산유관.령외,당자장시가재박막적단방향시,박막표현출부적거자조항효응,재빈솔5 MHz、자장Ha=9600 A/m시,거자조항효응가체-15.6%.
