武汉工业学院学报
武漢工業學院學報
무한공업학원학보
JOURNAL OF WUHAN POLYTECHNIC UNIVERSITY
2006年
3期
109-111
,共3页
脉冲激光沉积%薄膜%射频%等离子体
脈遲激光沉積%薄膜%射頻%等離子體
맥충격광침적%박막%사빈%등리자체
介绍了脉冲激光沉积(PLD)制备薄膜的原理,讨论了射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点,通过分析比较证实了射频辅助脉冲激光沉积比无射频辅助脉冲激光沉积具有更突出的优点.
介紹瞭脈遲激光沉積(PLD)製備薄膜的原理,討論瞭射頻輔助脈遲激光沉積鍍膜技術的特點,通過分析比較證實瞭射頻輔助脈遲激光沉積比無射頻輔助脈遲激光沉積具有更突齣的優點.
개소료맥충격광침적(PLD)제비박막적원리,토론료사빈보조맥충격광침적도막기술적특점,통과분석비교증실료사빈보조맥충격광침적비무사빈보조맥충격광침적구유경돌출적우점.