传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
7期
15-17
,共3页
程东升%孙以材%潘国锋%袁育杰
程東升%孫以材%潘國鋒%袁育傑
정동승%손이재%반국봉%원육걸
TiO2薄膜%钼酸铵%最佳工作温度%氧敏特性
TiO2薄膜%鉬痠銨%最佳工作溫度%氧敏特性
TiO2박막%목산안%최가공작온도%양민특성
用直流反应磁控溅射法在陶瓷基片上制备出TiO2薄膜.并进行1100℃,2h的退火处理.配置钼酸铵溶液,利用浸渍法处理TiO2薄膜若干时间.取出后,进行500℃,3h退火处理.用气敏测试箱对制备出的TiO2薄膜的氧敏特性进行试验测试,发现对氧气有很好的敏感特性,比未经此项工艺处理的TiO2薄膜的最佳工作温度降低100℃,为300℃左右,并进行SEM测试,分析其表面结构,研究气敏机理.
用直流反應磁控濺射法在陶瓷基片上製備齣TiO2薄膜.併進行1100℃,2h的退火處理.配置鉬痠銨溶液,利用浸漬法處理TiO2薄膜若榦時間.取齣後,進行500℃,3h退火處理.用氣敏測試箱對製備齣的TiO2薄膜的氧敏特性進行試驗測試,髮現對氧氣有很好的敏感特性,比未經此項工藝處理的TiO2薄膜的最佳工作溫度降低100℃,為300℃左右,併進行SEM測試,分析其錶麵結構,研究氣敏機理.
용직류반응자공천사법재도자기편상제비출TiO2박막.병진행1100℃,2h적퇴화처리.배치목산안용액,이용침지법처리TiO2박막약간시간.취출후,진행500℃,3h퇴화처리.용기민측시상대제비출적TiO2박막적양민특성진행시험측시,발현대양기유흔호적민감특성,비미경차항공예처리적TiO2박막적최가공작온도강저100℃,위300℃좌우,병진행SEM측시,분석기표면결구,연구기민궤리.
