CAJ | 학술논문

对于MEMS振动陀螺来说,找到一个快速有效的方法来评估其结构参数是非常重要的,比如谐振频率和阻尼系数,应根据微机械陀螺设计和制作的不同阶段,从测试精度、测试速度和试验方便程度等方面考虑,采用不同的方法进行动态试验.本文给出了一种能够判断MEMS器件振动特性的可靠的电测试系统,并通过分析和实验比较了几种微机械陀螺振动系统传递函数的快速测定方法,分析讨论了微机械陀螺振动系统测试方法和数据处理等问题.
대우MEMS진동타라래설,조도일개쾌속유효적방법래평고기결구삼수시비상중요적,비여해진빈솔화조니계수,응근거미궤계타라설계화제작적불동계단,종측시정도、측시속도화시험방편정도등방면고필,채용불동적방법진행동태시험.본문급출료일충능구판단MEMS기건진동특성적가고적전측시계통,병통과분석화실험비교료궤충미궤계타라진동계통전체함수적쾌속측정방법,분석토론료미궤계타라진동계통측시방법화수거처리등문제.