CAJ | 학술논문

采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在单晶硅片、载玻片、不锈钢片基体上制备了类金刚石(DLC)膜.用光学显微镜、椭偏仪、Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射能谱(XRD)、纳米硬度计、摩擦磨损仪、洛氏硬度计检测了薄膜的组分、结构、光学、力学等相关特性.结果表明,膜中均存在着微米级的大颗粒分布.硅片上的薄膜厚度均为37 nm左右,75 V、100 V偏压下制得的薄膜具有最高的sp3键含量,薄膜具有典型的DLC膜Raman光谱特征.玻片上的DLC膜具有良好的红外透射性能.不锈钢片上的薄膜为非晶碳结构,硬度受膜厚的影响显著,在空气中的摩擦因数均约为0.1左右,耐磨性能优良,随着膜厚的增加,膜与基体的结合性能变差.采用Cr/Cr-DLC膜(含铬DLC膜)作为不锈钢的梯度过渡层时可以极大地提高膜基间的结合性能.
채용자과려직류진공음겁호침적기술재단정규편、재파편、불수강편기체상제비료류금강석(DLC)막.용광학현미경、타편의、Raman광보、X사선광전자능보(XPS)、X사선연사능보(XRD)、납미경도계、마찰마손의、락씨경도계검측료박막적조분、결구、광학、역학등상관특성.결과표명,막중균존재착미미급적대과립분포.규편상적박막후도균위37 nm좌우,75 V、100 V편압하제득적박막구유최고적sp3건함량,박막구유전형적DLC막Raman광보특정.파편상적DLC막구유량호적홍외투사성능.불수강편상적박막위비정탄결구,경도수막후적영향현저,재공기중적마찰인수균약위0.1좌우,내마성능우량,수착막후적증가,막여기체적결합성능변차.채용Cr/Cr-DLC막(함락DLC막)작위불수강적제도과도층시가이겁대지제고막기간적결합성능.