压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2011年
4期
570-572,577
,共4页
刘相果%胡东霞%胡吉海%冯小东
劉相果%鬍東霞%鬍吉海%馮小東
류상과%호동하%호길해%풍소동
大尺寸厚膜压电陶瓷%流延工艺%变形镜
大呎吋厚膜壓電陶瓷%流延工藝%變形鏡
대척촌후막압전도자%류연공예%변형경
研制了一种适合高频响应变形镜使用要求的压电陶瓷材料体系,并采用流延工艺成功制备了大尺寸厚膜(φ90 mm×0.30 mm),并采用粘接固化工艺制备出φ90 mm口径的压电厚膜驱动连续变形镜.结果表明,压电陶瓷材料配方通式为Pb1-aMa[(Zn1-bLb)1/3Nb2(1-x)/3]eZrfTigOh,e+ f+g=1,M=Ca、Sr、Ba、La、K,L=Ni、Co、Fe,其机电耦合系数kp≥0.72,压电常数d33≥590 pC/N,居里温度Tc≥300℃,介电损耗tan δ≤1.2％,介电常数εT33/ε0=2 000～2 500,烧成温度1 150℃；扣除离焦前的压电厚膜驱动连续变形镜面形约3μm,扣除离焦后的面形约0.4 μm；陶瓷厚膜的烧银过程变形致使镜面粘接工艺过程气泡难以消除,产生变形镜面-陶瓷间粘接不连续.
研製瞭一種適閤高頻響應變形鏡使用要求的壓電陶瓷材料體繫,併採用流延工藝成功製備瞭大呎吋厚膜(φ90 mm×0.30 mm),併採用粘接固化工藝製備齣φ90 mm口徑的壓電厚膜驅動連續變形鏡.結果錶明,壓電陶瓷材料配方通式為Pb1-aMa[(Zn1-bLb)1/3Nb2(1-x)/3]eZrfTigOh,e+ f+g=1,M=Ca、Sr、Ba、La、K,L=Ni、Co、Fe,其機電耦閤繫數kp≥0.72,壓電常數d33≥590 pC/N,居裏溫度Tc≥300℃,介電損耗tan δ≤1.2％,介電常數εT33/ε0=2 000～2 500,燒成溫度1 150℃；釦除離焦前的壓電厚膜驅動連續變形鏡麵形約3μm,釦除離焦後的麵形約0.4 μm；陶瓷厚膜的燒銀過程變形緻使鏡麵粘接工藝過程氣泡難以消除,產生變形鏡麵-陶瓷間粘接不連續.
연제료일충괄합고빈향응변형경사용요구적압전도자재료체계,병채용류연공예성공제비료대척촌후막(φ90 mm×0.30 mm),병채용점접고화공예제비출φ90 mm구경적압전후막구동련속변형경.결과표명,압전도자재료배방통식위Pb1-aMa[(Zn1-bLb)1/3Nb2(1-x)/3]eZrfTigOh,e+ f+g=1,M=Ca、Sr、Ba、La、K,L=Ni、Co、Fe,기궤전우합계수kp≥0.72,압전상수d33≥590 pC/N,거리온도Tc≥300℃,개전손모tan δ≤1.2％,개전상수εT33/ε0=2 000～2 500,소성온도1 150℃；구제리초전적압전후막구동련속변형경면형약3μm,구제리초후적면형약0.4 μm；도자후막적소은과정변형치사경면점접공예과정기포난이소제,산생변형경면-도자간점접불련속.
