山东科学
山東科學
산동과학
SHANDONG SCIENCE
2002年
2期
46-49
,共4页
集成电路%集成电路工艺仿真%计算机辅助设计%计算机模拟
集成電路%集成電路工藝倣真%計算機輔助設計%計算機模擬
집성전로%집성전로공예방진%계산궤보조설계%계산궤모의
本文介绍了当前最新版本TSUPREM-4二维集成电路工艺仿真系统并使用该系统进行了杂质分凝行为等多项仿真应用,完成了对杂质分凝行为的定量分析.
本文介紹瞭噹前最新版本TSUPREM-4二維集成電路工藝倣真繫統併使用該繫統進行瞭雜質分凝行為等多項倣真應用,完成瞭對雜質分凝行為的定量分析.
본문개소료당전최신판본TSUPREM-4이유집성전로공예방진계통병사용해계통진행료잡질분응행위등다항방진응용,완성료대잡질분응행위적정량분석.
