功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2004年
4期
451-454
,共4页
唐广%郝智彪%钱可元%罗毅
唐廣%郝智彪%錢可元%囉毅
당엄%학지표%전가원%라의
AlGaN%肖特基接触%等离子体
AlGaN%肖特基接觸%等離子體
AlGaN%초특기접촉%등리자체
研究了不同的干法刻蚀以及氧气等离子体处理条件对 AlGaN表面特性的影响.在合适的条 件下,氧气等离子体处理可以使 AlGaN表面发生氧化, 并使肖特基接触的反向漏电流降低两个数 量级,反向击穿电压也有显著提高.该方法简单易行,可应用于制备高性能的 AlGaN/GaN HEMT 器件.
研究瞭不同的榦法刻蝕以及氧氣等離子體處理條件對 AlGaN錶麵特性的影響.在閤適的條 件下,氧氣等離子體處理可以使 AlGaN錶麵髮生氧化, 併使肖特基接觸的反嚮漏電流降低兩箇數 量級,反嚮擊穿電壓也有顯著提高.該方法簡單易行,可應用于製備高性能的 AlGaN/GaN HEMT 器件.
연구료불동적간법각식이급양기등리자체처리조건대 AlGaN표면특성적영향.재합괄적조 건하,양기등리자체처리가이사 AlGaN표면발생양화, 병사초특기접촉적반향루전류강저량개수 량급,반향격천전압야유현저제고.해방법간단역행,가응용우제비고성능적 AlGaN/GaN HEMT 기건.
