金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2004年
6期
669-672
,共4页
马胜利%徐健%介万奇%徐可为%M.G.J.Veprek-Heijman%S.Veprek
馬勝利%徐健%介萬奇%徐可為%M.G.J.Veprek-Heijman%S.Veprek
마성리%서건%개만기%서가위%M.G.J.Veprek-Heijman%S.Veprek
(Ti%Al)N硬质薄膜%微观结构%硬度%热稳定性
(Ti%Al)N硬質薄膜%微觀結構%硬度%熱穩定性
(Ti%Al)N경질박막%미관결구%경도%열은정성
用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法获得了Ti1-xAlxN硬质薄膜;考察了Al含量x及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响.结果表明,制备的Ti1-xAlxN薄膜由3-10 nm晶粒组成.随Al含量x增加,薄膜硬度升高,x超过0.83时,硬度开始急剧下降;结构分析证实x小于0.83,Ti1-xAlxN薄膜是固溶强化;x=0.83,薄膜中出现六方氮化铝相(h-AlN).热稳定性实验表明,Ti1-xAlxN薄膜的纳米结构和硬度在N2环境下可以维持到900℃.
用直流等離子體增彊化學氣相沉積(PCVD)方法穫得瞭Ti1-xAlxN硬質薄膜;攷察瞭Al含量x及高溫退火對薄膜微觀結構轉變過程及其硬度的影響.結果錶明,製備的Ti1-xAlxN薄膜由3-10 nm晶粒組成.隨Al含量x增加,薄膜硬度升高,x超過0.83時,硬度開始急劇下降;結構分析證實x小于0.83,Ti1-xAlxN薄膜是固溶彊化;x=0.83,薄膜中齣現六方氮化鋁相(h-AlN).熱穩定性實驗錶明,Ti1-xAlxN薄膜的納米結構和硬度在N2環境下可以維持到900℃.
용직류등리자체증강화학기상침적(PCVD)방법획득료Ti1-xAlxN경질박막;고찰료Al함량x급고온퇴화대박막미관결구전변과정급기경도적영향.결과표명,제비적Ti1-xAlxN박막유3-10 nm정립조성.수Al함량x증가,박막경도승고,x초과0.83시,경도개시급극하강;결구분석증실x소우0.83,Ti1-xAlxN박막시고용강화;x=0.83,박막중출현륙방담화려상(h-AlN).열은정성실험표명,Ti1-xAlxN박막적납미결구화경도재N2배경하가이유지도900℃.
