上海交通大学学报
上海交通大學學報
상해교통대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY
2004年
6期
897-900
,共4页
简小刚%孙方宏%陈明%张志明%沈荷生%凌行
簡小剛%孫方宏%陳明%張誌明%瀋荷生%凌行
간소강%손방굉%진명%장지명%침하생%릉행
金刚石薄膜%自支撑窗口%制备
金剛石薄膜%自支撐窗口%製備
금강석박막%자지탱창구%제비
以氢气和丙酮为原料,采用电子增强热丝CVD法,在硅片(100)基底上涂覆一层金刚石薄膜,在传统的硅平面加工工艺的基础上发展了一种新的在沉积好的基片上制备自支撑窗口试样的方法,并采用光刻法和湿式各向异性刻蚀技术制备得到金刚石薄膜自支撑窗口试样.研究表明,所制备的金刚石薄膜自支撑窗口的形状比较规则,膜内残留内应力小,能很好地满足鼓泡实验的要求,可以用来定量检测金刚石薄膜膜基界面结合强度和综合评价薄膜力学性能,对于促进金刚石薄膜材料在半导体器件中的应用和推广具有积极的意义.
以氫氣和丙酮為原料,採用電子增彊熱絲CVD法,在硅片(100)基底上塗覆一層金剛石薄膜,在傳統的硅平麵加工工藝的基礎上髮展瞭一種新的在沉積好的基片上製備自支撐窗口試樣的方法,併採用光刻法和濕式各嚮異性刻蝕技術製備得到金剛石薄膜自支撐窗口試樣.研究錶明,所製備的金剛石薄膜自支撐窗口的形狀比較規則,膜內殘留內應力小,能很好地滿足鼓泡實驗的要求,可以用來定量檢測金剛石薄膜膜基界麵結閤彊度和綜閤評價薄膜力學性能,對于促進金剛石薄膜材料在半導體器件中的應用和推廣具有積極的意義.
이경기화병동위원료,채용전자증강열사CVD법,재규편(100)기저상도복일층금강석박막,재전통적규평면가공공예적기출상발전료일충신적재침적호적기편상제비자지탱창구시양적방법,병채용광각법화습식각향이성각식기술제비득도금강석박막자지탱창구시양.연구표명,소제비적금강석박막자지탱창구적형상비교규칙,막내잔류내응력소,능흔호지만족고포실험적요구,가이용래정량검측금강석박막막기계면결합강도화종합평개박막역학성능,대우촉진금강석박막재료재반도체기건중적응용화추엄구유적겁적의의.
