微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用
미납가공기술재미납전자기건영역적응용
Applications of micro/nanofabrication on micro/nano electrical devices
  • 万方数据
    物理 물리

    2006年 1期 47-50 ,共4页

    刘明%陈宝钦%谢常青%王丛舜%龙世兵%徐秋霞%李志钢%易里成荣%涂德钰

    류명%진보흠%사상청%왕총순%룡세병%서추하%리지강%역리성영%도덕옥

    自上而下的纳米加工%纳米器件 自上而下的納米加工%納米器件
    자상이하적납미가공%납미기건
    微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度,光学光刻技术依然是目前的主流微纳加工技术,同时有多种替代技术如电子束直写、极紫外光刻和投影电子束技术,文章介绍了自上而下的微纳加工技术的进展及其在微纳器件研制的重要作用.
    미납가공기술추동착집성전로불단축소기건척촌화제고집성도,광학광각기술의연시목전적주류미납가공기술,동시유다충체대기술여전자속직사、겁자외광각화투영전자속기술,문장개소료자상이하적미납가공기술적진전급기재미납기건연제적중요작용.
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