清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
2期
177-180
,共4页
郑汉卿%王伯雄%余超%罗秀芝
鄭漢卿%王伯雄%餘超%囉秀芝
정한경%왕백웅%여초%라수지
微机电系统(MEMS)%显微视觉%自动调焦%频闪成像%亚像素算法
微機電繫統(MEMS)%顯微視覺%自動調焦%頻閃成像%亞像素算法
미궤전계통(MEMS)%현미시각%자동조초%빈섬성상%아상소산법
为了对微机电系统(MEMS)的机械动态性能进行测试,结合自动调焦、机器显微视觉和频闪照明成像等多项技术,设计了基于自动调焦显微视觉的MEMS动态测试系统,可进行MEMS平面运动和离面运动的测量.该文介绍了系统的设计组成和关键技术,并针对系统做了验证性实验.实验结果表明,平面亚像素位移算法的匹配精度可达1/50个像素,在系统25倍的放大倍率下,平面刚体运动测量分辨率达到7.2 nm×8.3 nm;自动调焦过程迅速,焦平面定位精确,离面运动测量分辨率达到0.1 μm.
為瞭對微機電繫統(MEMS)的機械動態性能進行測試,結閤自動調焦、機器顯微視覺和頻閃照明成像等多項技術,設計瞭基于自動調焦顯微視覺的MEMS動態測試繫統,可進行MEMS平麵運動和離麵運動的測量.該文介紹瞭繫統的設計組成和關鍵技術,併針對繫統做瞭驗證性實驗.實驗結果錶明,平麵亞像素位移算法的匹配精度可達1/50箇像素,在繫統25倍的放大倍率下,平麵剛體運動測量分辨率達到7.2 nm×8.3 nm;自動調焦過程迅速,焦平麵定位精確,離麵運動測量分辨率達到0.1 μm.
위료대미궤전계통(MEMS)적궤계동태성능진행측시,결합자동조초、궤기현미시각화빈섬조명성상등다항기술,설계료기우자동조초현미시각적MEMS동태측시계통,가진행MEMS평면운동화리면운동적측량.해문개소료계통적설계조성화관건기술,병침대계통주료험증성실험.실험결과표명,평면아상소위이산법적필배정도가체1/50개상소,재계통25배적방대배솔하,평면강체운동측량분변솔체도7.2 nm×8.3 nm;자동조초과정신속,초평면정위정학,리면운동측량분변솔체도0.1 μm.
