真空
真空
진공
VACUUM
2008年
1期
31-33
,共3页
段永利%许生%巴德纯%高文波%范垂祯
段永利%許生%巴德純%高文波%範垂禎
단영리%허생%파덕순%고문파%범수정
TiO2薄膜%离子束后处理%光学性质%中频反应磁控溅射
TiO2薄膜%離子束後處理%光學性質%中頻反應磁控濺射
TiO2박막%리자속후처리%광학성질%중빈반응자공천사
采用中频反应磁控溅射方法和线性阳极层离子源实现了TiO2薄膜在线制备和在线离子束后处理.通过对薄膜光学性质的研究,发现氧离子束后处理对提高薄膜折射率,降低薄膜吸收率具有明显效果.为工业生产中,薄膜的在线制备及后处理提供了切实可行的手段.
採用中頻反應磁控濺射方法和線性暘極層離子源實現瞭TiO2薄膜在線製備和在線離子束後處理.通過對薄膜光學性質的研究,髮現氧離子束後處理對提高薄膜摺射率,降低薄膜吸收率具有明顯效果.為工業生產中,薄膜的在線製備及後處理提供瞭切實可行的手段.
채용중빈반응자공천사방법화선성양겁층리자원실현료TiO2박막재선제비화재선리자속후처리.통과대박막광학성질적연구,발현양리자속후처리대제고박막절사솔,강저박막흡수솔구유명현효과.위공업생산중,박막적재선제비급후처리제공료절실가행적수단.
