材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2008年
3期
325-327
,共3页
季振国%冯丹丹%席俊华%毛启楠%袁苑%郝芳%陈敏梅
季振國%馮丹丹%席俊華%毛啟楠%袁苑%郝芳%陳敏梅
계진국%풍단단%석준화%모계남%원원%학방%진민매
X射线衍射%紫外-可见反射%无损检测
X射線衍射%紫外-可見反射%無損檢測
X사선연사%자외-가견반사%무손검측
结合紫外-可见光谱和高分辨XRD两种测试方法,无损、可靠地确定了AlGaN/GaN HEMT结构内各层的厚度、成分、应力等参数,解决了高分辨XRD无法同时确定成分与应力的难题.这两种方法的好处是样品不需经过特殊的处理,也不需进行切割、减薄等工艺,具有快速、无损、准确的特点,可以作为AlGaN/GaN HEMT器件的筛选工具,提高器件的成品率、降低生产成本.
結閤紫外-可見光譜和高分辨XRD兩種測試方法,無損、可靠地確定瞭AlGaN/GaN HEMT結構內各層的厚度、成分、應力等參數,解決瞭高分辨XRD無法同時確定成分與應力的難題.這兩種方法的好處是樣品不需經過特殊的處理,也不需進行切割、減薄等工藝,具有快速、無損、準確的特點,可以作為AlGaN/GaN HEMT器件的篩選工具,提高器件的成品率、降低生產成本.
결합자외-가견광보화고분변XRD량충측시방법,무손、가고지학정료AlGaN/GaN HEMT결구내각층적후도、성분、응력등삼수,해결료고분변XRD무법동시학정성분여응력적난제.저량충방법적호처시양품불수경과특수적처리,야불수진행절할、감박등공예,구유쾌속、무손、준학적특점,가이작위AlGaN/GaN HEMT기건적사선공구,제고기건적성품솔、강저생산성본.
