中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
6期
1550-1554
,共5页
贺才美%付秀华%孙钰林%李美萱
賀纔美%付秀華%孫鈺林%李美萱
하재미%부수화%손옥림%리미훤
薄膜%激光滤光膜%真空镀膜%离子辅助沉积%光学特性
薄膜%激光濾光膜%真空鍍膜%離子輔助沉積%光學特性
박막%격광려광막%진공도막%리자보조침적%광학특성
针对光学仪器对多光谱光轴测试的特殊要求,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过对材料的光学特性、膜系设汁和监控厚度误差的分析,优化工艺参数,在多光谱ZnS基底上,成功镀制多波段激光滤光膜,实现了多波段光谱的分束.所镀膜层在30°角入射条件下,可见400～700 nm波长范围内平均透射率高于90%,1064 nm和1540 nm波长处的透射率都低于5%,在红外波长10.6μm透射率高于92%,并且解决了膜层牢固性问题,能够承受激光光源的照射和恶劣的环境测试,完全满足光学仪器的使用要求.
針對光學儀器對多光譜光軸測試的特殊要求,採用電子束真空鍍膜的方法併加以離子輔助沉積繫統,通過對材料的光學特性、膜繫設汁和鑑控厚度誤差的分析,優化工藝參數,在多光譜ZnS基底上,成功鍍製多波段激光濾光膜,實現瞭多波段光譜的分束.所鍍膜層在30°角入射條件下,可見400～700 nm波長範圍內平均透射率高于90%,1064 nm和1540 nm波長處的透射率都低于5%,在紅外波長10.6μm透射率高于92%,併且解決瞭膜層牢固性問題,能夠承受激光光源的照射和噁劣的環境測試,完全滿足光學儀器的使用要求.
침대광학의기대다광보광축측시적특수요구,채용전자속진공도막적방법병가이리자보조침적계통,통과대재료적광학특성、막계설즙화감공후도오차적분석,우화공예삼수,재다광보ZnS기저상,성공도제다파단격광려광막,실현료다파단광보적분속.소도막층재30°각입사조건하,가견400～700 nm파장범위내평균투사솔고우90%,1064 nm화1540 nm파장처적투사솔도저우5%,재홍외파장10.6μm투사솔고우92%,병차해결료막층뢰고성문제,능구승수격광광원적조사화악렬적배경측시,완전만족광학의기적사용요구.
