纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2010年
3期
195-200
,共6页
胡春光%孙立东%李艳宁%ZEPPENFELD Peter%胡小唐
鬍春光%孫立東%李豔寧%ZEPPENFELD Peter%鬍小唐
호춘광%손립동%리염저%ZEPPENFELD Peter%호소당
反射差分光谱术%光弹调制%多通道并行测量%同步采集卡%数字锁相放大算法
反射差分光譜術%光彈調製%多通道併行測量%同步採集卡%數字鎖相放大算法
반사차분광보술%광탄조제%다통도병행측량%동보채집잡%수자쇄상방대산법
反射差分光谱术(RDS)是研究材料表面和薄膜光学各向异性属性的重要手段.现有的技术以光弹调制器(PEM)式单通道测量模式为主,可以实时监测单个波长的反射差分信号,但全光谱测量则需要采用扫描波长的方式完成,耗时长,不适合在线监测等时效性强、全光谱测量的应用.在研究基于光弹调制器的多通道反射差分光谱仪的技术实现的基础上,结合虚拟仪器技术、高速多通道同步采集卡和数字锁相放大算法,提出一种新的多通道测量构架.实验表明,新方法在全光谱范围内测量信号的标准偏差小于10-3,在仪器开发上具有组合灵活、扩展性好等优点.
反射差分光譜術(RDS)是研究材料錶麵和薄膜光學各嚮異性屬性的重要手段.現有的技術以光彈調製器(PEM)式單通道測量模式為主,可以實時鑑測單箇波長的反射差分信號,但全光譜測量則需要採用掃描波長的方式完成,耗時長,不適閤在線鑑測等時效性彊、全光譜測量的應用.在研究基于光彈調製器的多通道反射差分光譜儀的技術實現的基礎上,結閤虛擬儀器技術、高速多通道同步採集卡和數字鎖相放大算法,提齣一種新的多通道測量構架.實驗錶明,新方法在全光譜範圍內測量信號的標準偏差小于10-3,在儀器開髮上具有組閤靈活、擴展性好等優點.
반사차분광보술(RDS)시연구재료표면화박막광학각향이성속성적중요수단.현유적기술이광탄조제기(PEM)식단통도측량모식위주,가이실시감측단개파장적반사차분신호,단전광보측량칙수요채용소묘파장적방식완성,모시장,불괄합재선감측등시효성강、전광보측량적응용.재연구기우광탄조제기적다통도반사차분광보의적기술실현적기출상,결합허의의기기술、고속다통도동보채집잡화수자쇄상방대산법,제출일충신적다통도측량구가.실험표명,신방법재전광보범위내측량신호적표준편차소우10-3,재의기개발상구유조합령활、확전성호등우점.
