传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
5期
585-588
,共4页
吴跃波%杨启耀%雷声%吴孙桃
吳躍波%楊啟耀%雷聲%吳孫桃
오약파%양계요%뢰성%오손도
ZnO薄膜%磁控溅射%肖特基%光电导%紫外探测器
ZnO薄膜%磁控濺射%肖特基%光電導%紫外探測器
ZnO박막%자공천사%초특기%광전도%자외탐측기
利用射频磁控溅射技术在SiO2/n-Si和石英玻璃衬底上制备了具有C轴择优取向的ZnO薄膜,研究了退火对ZnO薄膜特性的影响,并在以SiO2/n-Si为衬底、退火温度为900℃的薄膜上制作了Ag-ZnO-Ag肖特基型和Au-ZnO-Au光电导型MSM叉指结构的紫外探测器.所制作的两种MSM紫外探测器在350 nm波长紫外光照下电流增加,在紫外波段有较高的响应度,光响应度峰值在370 nm附近.
利用射頻磁控濺射技術在SiO2/n-Si和石英玻璃襯底上製備瞭具有C軸擇優取嚮的ZnO薄膜,研究瞭退火對ZnO薄膜特性的影響,併在以SiO2/n-Si為襯底、退火溫度為900℃的薄膜上製作瞭Ag-ZnO-Ag肖特基型和Au-ZnO-Au光電導型MSM扠指結構的紫外探測器.所製作的兩種MSM紫外探測器在350 nm波長紫外光照下電流增加,在紫外波段有較高的響應度,光響應度峰值在370 nm附近.
이용사빈자공천사기술재SiO2/n-Si화석영파리츤저상제비료구유C축택우취향적ZnO박막,연구료퇴화대ZnO박막특성적영향,병재이SiO2/n-Si위츤저、퇴화온도위900℃적박막상제작료Ag-ZnO-Ag초특기형화Au-ZnO-Au광전도형MSM차지결구적자외탐측기.소제작적량충MSM자외탐측기재350 nm파장자외광조하전류증가,재자외파단유교고적향응도,광향응도봉치재370 nm부근.
