青岛科技大学学报(自然科学版)
青島科技大學學報(自然科學版)
청도과기대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
4期
332-334
,共3页
金刚石膜%复合膜%化学气相沉积
金剛石膜%複閤膜%化學氣相沉積
금강석막%복합막%화학기상침적
运用等离子体辅助热丝化学气相沉积设备分别进行了金刚石膜和金刚石/碳化钛复合膜的沉积. 实验条件:甲烷流量与氢气流量比为1∶50,基体温度860 ℃,等离子体偏压300 V,沉积气压4 kPa.运用扫描电子显微镜(SEM)分别观察了沉积膜的表面和断面形貌;运用能量扩散电子谱(EDX)对沉积的复合膜进行分析,观察到Ti元素峰和C元素峰;运用X射线衍射(XRD)得到相应的金刚石衍射峰和碳化钛衍射峰.实验表明,用等离子体辅助热丝化学气相沉积法可以制备出晶型良好的金刚石复合膜.
運用等離子體輔助熱絲化學氣相沉積設備分彆進行瞭金剛石膜和金剛石/碳化鈦複閤膜的沉積. 實驗條件:甲烷流量與氫氣流量比為1∶50,基體溫度860 ℃,等離子體偏壓300 V,沉積氣壓4 kPa.運用掃描電子顯微鏡(SEM)分彆觀察瞭沉積膜的錶麵和斷麵形貌;運用能量擴散電子譜(EDX)對沉積的複閤膜進行分析,觀察到Ti元素峰和C元素峰;運用X射線衍射(XRD)得到相應的金剛石衍射峰和碳化鈦衍射峰.實驗錶明,用等離子體輔助熱絲化學氣相沉積法可以製備齣晶型良好的金剛石複閤膜.
운용등리자체보조열사화학기상침적설비분별진행료금강석막화금강석/탄화태복합막적침적. 실험조건:갑완류량여경기류량비위1∶50,기체온도860 ℃,등리자체편압300 V,침적기압4 kPa.운용소묘전자현미경(SEM)분별관찰료침적막적표면화단면형모;운용능량확산전자보(EDX)대침적적복합막진행분석,관찰도Ti원소봉화C원소봉;운용X사선연사(XRD)득도상응적금강석연사봉화탄화태연사봉.실험표명,용등리자체보조열사화학기상침적법가이제비출정형량호적금강석복합막.
