表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2005年
5期
19-21
,共3页
赵文济%李一睿%胡祖光%许辉%祝新发%李戈扬
趙文濟%李一睿%鬍祖光%許輝%祝新髮%李戈颺
조문제%리일예%호조광%허휘%축신발%리과양
TiO薄膜%AlO薄膜%TiN薄膜%AlN薄膜%反应溅射%微结构%力学性能
TiO薄膜%AlO薄膜%TiN薄膜%AlN薄膜%反應濺射%微結構%力學性能
TiO박막%AlO박막%TiN박막%AlN박막%반응천사%미결구%역학성능
采用Ti-Al镶嵌复合靶在Ar、N2和O2混合气体中反应溅射制备了一系列TiO/AlO和TiN/AlN薄膜,并采用EDS、XRD、TEM、AFM、SEM和微力学探针研究了薄膜的化学成分、微结构和力学性能.结果表明,随氧分压的提高,TiO/AlO和TiN/AlN薄膜中的氧含量逐步增加,氮含量相应减少,但其(Ti+Al):(O+N)仍保持约为1:1的化学计量比.薄膜保持与(Ti,Al)N薄膜相同的NaCl结构,并形成强烈(200)织构的柱状晶.与此同时,TiO/AlO和TiN/AlN薄膜的硬度和弹性模量也仍保持在与TiN/AlN薄膜相当的35GPa和370～420GPa的高值.由于薄膜中形成了相当含量的氧化物,这类薄膜的抗氧化能力有望得到提高.
採用Ti-Al鑲嵌複閤靶在Ar、N2和O2混閤氣體中反應濺射製備瞭一繫列TiO/AlO和TiN/AlN薄膜,併採用EDS、XRD、TEM、AFM、SEM和微力學探針研究瞭薄膜的化學成分、微結構和力學性能.結果錶明,隨氧分壓的提高,TiO/AlO和TiN/AlN薄膜中的氧含量逐步增加,氮含量相應減少,但其(Ti+Al):(O+N)仍保持約為1:1的化學計量比.薄膜保持與(Ti,Al)N薄膜相同的NaCl結構,併形成彊烈(200)織構的柱狀晶.與此同時,TiO/AlO和TiN/AlN薄膜的硬度和彈性模量也仍保持在與TiN/AlN薄膜相噹的35GPa和370～420GPa的高值.由于薄膜中形成瞭相噹含量的氧化物,這類薄膜的抗氧化能力有望得到提高.
채용Ti-Al양감복합파재Ar、N2화O2혼합기체중반응천사제비료일계렬TiO/AlO화TiN/AlN박막,병채용EDS、XRD、TEM、AFM、SEM화미역학탐침연구료박막적화학성분、미결구화역학성능.결과표명,수양분압적제고,TiO/AlO화TiN/AlN박막중적양함량축보증가,담함량상응감소,단기(Ti+Al):(O+N)잉보지약위1:1적화학계량비.박막보지여(Ti,Al)N박막상동적NaCl결구,병형성강렬(200)직구적주상정.여차동시,TiO/AlO화TiN/AlN박막적경도화탄성모량야잉보지재여TiN/AlN박막상당적35GPa화370～420GPa적고치.유우박막중형성료상당함량적양화물,저류박막적항양화능력유망득도제고.
