计算机辅助设计与图形学学报
計算機輔助設計與圖形學學報
계산궤보조설계여도형학학보
JOURNAL OF COMPUTER-AIDED DESIGN & COMPUTER GRAPHICS
2008年
6期
724-729
,共6页
VLSI%化学机械抛光%冗余金属填充%性能优化%关键线网
VLSI%化學機械拋光%冗餘金屬填充%性能優化%關鍵線網
VLSI%화학궤계포광%용여금속전충%성능우화%관건선망
冗余金属填充改善了化学机械抛光对于金属和介质表面平坦化的均匀性,却大大地影响了互连线性能.提出一种性能优化的冗余金属填充算法,可减少对关键线网的时延影响.该算法利用扫描线算法找到填充区域,根据线网关键度将填充区域分类,按照优先级对填充数量进行分配,对每个填充区域采用解析式沙漏模型进行冗余金属插入.实验结果表明,该算法在减少冗余金属填充对关键线网的时延影响方面比传统的填充算法平均减少15%.
冗餘金屬填充改善瞭化學機械拋光對于金屬和介質錶麵平坦化的均勻性,卻大大地影響瞭互連線性能.提齣一種性能優化的冗餘金屬填充算法,可減少對關鍵線網的時延影響.該算法利用掃描線算法找到填充區域,根據線網關鍵度將填充區域分類,按照優先級對填充數量進行分配,對每箇填充區域採用解析式沙漏模型進行冗餘金屬插入.實驗結果錶明,該算法在減少冗餘金屬填充對關鍵線網的時延影響方麵比傳統的填充算法平均減少15%.
용여금속전충개선료화학궤계포광대우금속화개질표면평탄화적균균성,각대대지영향료호련선성능.제출일충성능우화적용여금속전충산법,가감소대관건선망적시연영향.해산법이용소묘선산법조도전충구역,근거선망관건도장전충구역분류,안조우선급대전충수량진행분배,대매개전충구역채용해석식사루모형진행용여금속삽입.실험결과표명,해산법재감소용여금속전충대관건선망적시연영향방면비전통적전충산법평균감소15%.
