西北师范大学学报（自然科学版）
西北師範大學學報（自然科學版）
서북사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTHWEST NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2009年
5期
48-51
,共4页
马书懿%史新福%袁玉凤%毛雷鸣%丁继军%周婷婷
馬書懿%史新福%袁玉鳳%毛雷鳴%丁繼軍%週婷婷
마서의%사신복%원옥봉%모뢰명%정계군%주정정
磁控溅射法%Al-ZnO薄膜%掺杂%透射
磁控濺射法%Al-ZnO薄膜%摻雜%透射
자공천사법%Al-ZnO박막%참잡%투사
采用磁控溅射法(RF)在玻璃衬底上沉积不同Al含量的ZnO薄膜,利用X 射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和紫外分光光度计研究了不同浓度的掺杂对薄膜结构和光学性能的影响.结果显示:所有样品都呈现出较强的(002)衍射峰,有较好的c轴择优取向;薄膜表面平整光滑,晶界较明显;薄膜的平均透射率均在85%以上,并随着Al掺杂量的增加而降低;随着Al掺杂量的增加,薄膜的光学带隙值先增大,后减小,吸收边先蓝移,后红移.这与量子限制模型计算结果的变化趋势完全一致.
採用磁控濺射法(RF)在玻璃襯底上沉積不同Al含量的ZnO薄膜,利用X 射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)和紫外分光光度計研究瞭不同濃度的摻雜對薄膜結構和光學性能的影響.結果顯示:所有樣品都呈現齣較彊的(002)衍射峰,有較好的c軸擇優取嚮;薄膜錶麵平整光滑,晶界較明顯;薄膜的平均透射率均在85%以上,併隨著Al摻雜量的增加而降低;隨著Al摻雜量的增加,薄膜的光學帶隙值先增大,後減小,吸收邊先藍移,後紅移.這與量子限製模型計算結果的變化趨勢完全一緻.
채용자공천사법(RF)재파리츤저상침적불동Al함량적ZnO박막,이용X 사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)화자외분광광도계연구료불동농도적참잡대박막결구화광학성능적영향.결과현시:소유양품도정현출교강적(002)연사봉,유교호적c축택우취향;박막표면평정광활,정계교명현;박막적평균투사솔균재85%이상,병수착Al참잡량적증가이강저;수착Al참잡량적증가,박막적광학대극치선증대,후감소,흡수변선람이,후홍이.저여양자한제모형계산결과적변화추세완전일치.
