真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2012年
2期
107-114
,共8页
吕继磊%满卫东%朱金凤%涂昕
呂繼磊%滿衛東%硃金鳳%塗昕
려계뢰%만위동%주금봉%도흔
金刚石膜%硫化锌%红外%光学窗口
金剛石膜%硫化鋅%紅外%光學窗口
금강석막%류화자%홍외%광학창구
金刚石具有优异的红外透过性能,可作为硫化锌红外窗口的保护膜.但由于CVD金刚石的沉积过程会刻蚀硫化锌衬底,导致在窗口表面直接生长金刚石膜比较困难.本文主要综述了近年来通过添加过渡层沉积金刚石薄膜的方法和光学焊接金刚石厚膜的方法来增强硫化锌窗口的性能,并介绍了CVD金刚石膜的光学应用及其目前所存在的问题,最后对未来CVD金刚石膜发展的方向作出了展望.
金剛石具有優異的紅外透過性能,可作為硫化鋅紅外窗口的保護膜.但由于CVD金剛石的沉積過程會刻蝕硫化鋅襯底,導緻在窗口錶麵直接生長金剛石膜比較睏難.本文主要綜述瞭近年來通過添加過渡層沉積金剛石薄膜的方法和光學銲接金剛石厚膜的方法來增彊硫化鋅窗口的性能,併介紹瞭CVD金剛石膜的光學應用及其目前所存在的問題,最後對未來CVD金剛石膜髮展的方嚮作齣瞭展望.
금강석구유우이적홍외투과성능,가작위류화자홍외창구적보호막.단유우CVD금강석적침적과정회각식류화자츤저,도치재창구표면직접생장금강석막비교곤난.본문주요종술료근년래통과첨가과도층침적금강석박막적방법화광학한접금강석후막적방법래증강류화자창구적성능,병개소료CVD금강석막적광학응용급기목전소존재적문제,최후대미래CVD금강석막발전적방향작출료전망.
