光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
11期
2479-2484
,共6页
艾晨光%褚明%孙汉旭%张延恒%叶平
艾晨光%褚明%孫漢旭%張延恆%葉平
애신광%저명%손한욱%장연항%협평
角度测量%圆光栅%系统误差补偿%偏心距检测%偏心方向检测
角度測量%圓光柵%繫統誤差補償%偏心距檢測%偏心方嚮檢測
각도측량%원광책%계통오차보상%편심거검측%편심방향검측
为了修正关节测试平台中由圆光栅安装偏心所产生的测量误差,建立了圆光栅偏心测角误差补偿模型并对安装偏心检测方法进行研究.首先,根据圆光栅测角与偏心参数间的几何关系,推导出圆光栅测量误差补偿模型.然后,描述了采用双读数头对比接收正弦信号间相位差,检测偏心参数的方法和原理;通过合成信号的李萨茹图形,检测出关节测试平台内圆光栅的偏心距及偏心方向.最后,根据所推导的偏心测角误差补偿公式对测试系统进行修正.对比实验结果表明:修正后的圆光栅测角精度大幅提高,测量精度提高了近5倍,满足关节测试平台的测量精度要求.
為瞭脩正關節測試平檯中由圓光柵安裝偏心所產生的測量誤差,建立瞭圓光柵偏心測角誤差補償模型併對安裝偏心檢測方法進行研究.首先,根據圓光柵測角與偏心參數間的幾何關繫,推導齣圓光柵測量誤差補償模型.然後,描述瞭採用雙讀數頭對比接收正絃信號間相位差,檢測偏心參數的方法和原理;通過閤成信號的李薩茹圖形,檢測齣關節測試平檯內圓光柵的偏心距及偏心方嚮.最後,根據所推導的偏心測角誤差補償公式對測試繫統進行脩正.對比實驗結果錶明:脩正後的圓光柵測角精度大幅提高,測量精度提高瞭近5倍,滿足關節測試平檯的測量精度要求.
위료수정관절측시평태중유원광책안장편심소산생적측량오차,건립료원광책편심측각오차보상모형병대안장편심검측방법진행연구.수선,근거원광책측각여편심삼수간적궤하관계,추도출원광책측량오차보상모형.연후,묘술료채용쌍독수두대비접수정현신호간상위차,검측편심삼수적방법화원리;통과합성신호적리살여도형,검측출관절측시평태내원광책적편심거급편심방향.최후,근거소추도적편심측각오차보상공식대측시계통진행수정.대비실험결과표명:수정후적원광책측각정도대폭제고,측량정도제고료근5배,만족관절측시평태적측량정도요구.
