真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2005年
6期
8-16
,共9页
冯进军%廖复疆%朱敏%闫铁昌
馮進軍%廖複疆%硃敏%閆鐵昌
풍진군%료복강%주민%염철창
深刻技术%微型真空电子器件%行波管%速调管%返波振荡器
深刻技術%微型真空電子器件%行波管%速調管%返波振盪器
심각기술%미형진공전자기건%행파관%속조관%반파진탕기
微波真空电子器件的频率正在向毫米波、亚毫米波甚至太赫兹频率扩展,随着器件频率的提高,高频结构的尺寸越来越小,传统的机械加工方法已经不能满足零部件精度的要求,需要借助微细加工技术.这一类利用微细加工技术,特别是深刻技术,如LIGA,DEM,DXRL、DRIE等,制作的真空器件,已经形成一门新兴的交叉学科,微真空电子学及相应的技术和应用.本文对目前微真空电子器件的现状,深刻技术在器件加工的应用进行了分析,希望对开展这些研究打下基础.
微波真空電子器件的頻率正在嚮毫米波、亞毫米波甚至太赫玆頻率擴展,隨著器件頻率的提高,高頻結構的呎吋越來越小,傳統的機械加工方法已經不能滿足零部件精度的要求,需要藉助微細加工技術.這一類利用微細加工技術,特彆是深刻技術,如LIGA,DEM,DXRL、DRIE等,製作的真空器件,已經形成一門新興的交扠學科,微真空電子學及相應的技術和應用.本文對目前微真空電子器件的現狀,深刻技術在器件加工的應用進行瞭分析,希望對開展這些研究打下基礎.
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