太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2007年
5期
504-507
,共4页
任丙彦%刘晓平%许颖%王敏花%廖显伯
任丙彥%劉曉平%許穎%王敏花%廖顯伯
임병언%류효평%허영%왕민화%료현백
氧化铟锡薄膜%射频磁控溅射%陶瓷靶%HIT太阳电池
氧化銦錫薄膜%射頻磁控濺射%陶瓷靶%HIT太暘電池
양화인석박막%사빈자공천사%도자파%HIT태양전지
采用射频磁控溅射技术在不同射频功率下沉积了ITO薄膜,并将其应用于HIT太阳电池.分析了薄膜的结构、光电特性.结果表明,在120W时制备的薄膜很好地兼顾了电阻率和光透过率,其电阻率为3.48×10-4Ω·cm、在350～800 nm波段的平均光透过率为87.1%,将其应用于HIT太阳电池上,电池的转换效率可达13.38%.
採用射頻磁控濺射技術在不同射頻功率下沉積瞭ITO薄膜,併將其應用于HIT太暘電池.分析瞭薄膜的結構、光電特性.結果錶明,在120W時製備的薄膜很好地兼顧瞭電阻率和光透過率,其電阻率為3.48×10-4Ω·cm、在350～800 nm波段的平均光透過率為87.1%,將其應用于HIT太暘電池上,電池的轉換效率可達13.38%.
채용사빈자공천사기술재불동사빈공솔하침적료ITO박막,병장기응용우HIT태양전지.분석료박막적결구、광전특성.결과표명,재120W시제비적박막흔호지겸고료전조솔화광투과솔,기전조솔위3.48×10-4Ω·cm、재350～800 nm파단적평균광투과솔위87.1%,장기응용우HIT태양전지상,전지적전환효솔가체13.38%.
