轻工机械
輕工機械
경공궤계
2009年
5期
48-51
,共4页
化学机械抛光%抛光垫%修整
化學機械拋光%拋光墊%脩整
화학궤계포광%포광점%수정
抛光垫修整是化学机械抛光的重要过程之一.合理的修整可以改善修整效果,提高抛光质量.抛光垫的修整效果可以通过修整器的设计和修整工艺参数进行调整.文章通过对CMP用抛光垫修整现状的阐述,分析了对其修整效果的影响因素.金刚石颗粒的排列方式会影响修整效果,颗粒尺寸的增大会促进修整效率的提高.修整效率随着修整压力的增大而增大,修整时间和转速对修整效率有影响.温度的升高,可以改善修整质量,修整密度越大,抛光垫的磨损率越高.
拋光墊脩整是化學機械拋光的重要過程之一.閤理的脩整可以改善脩整效果,提高拋光質量.拋光墊的脩整效果可以通過脩整器的設計和脩整工藝參數進行調整.文章通過對CMP用拋光墊脩整現狀的闡述,分析瞭對其脩整效果的影響因素.金剛石顆粒的排列方式會影響脩整效果,顆粒呎吋的增大會促進脩整效率的提高.脩整效率隨著脩整壓力的增大而增大,脩整時間和轉速對脩整效率有影響.溫度的升高,可以改善脩整質量,脩整密度越大,拋光墊的磨損率越高.
포광점수정시화학궤계포광적중요과정지일.합리적수정가이개선수정효과,제고포광질량.포광점적수정효과가이통과수정기적설계화수정공예삼수진행조정.문장통과대CMP용포광점수정현상적천술,분석료대기수정효과적영향인소.금강석과립적배렬방식회영향수정효과,과립척촌적증대회촉진수정효솔적제고.수정효솔수착수정압력적증대이증대,수정시간화전속대수정효솔유영향.온도적승고,가이개선수정질량,수정밀도월대,포광점적마손솔월고.
