红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2011年
10期
1914-1917,1927
,共5页
回馈干涉仪%光回馈%微片激光器%Nd:YAG准共路
迴饋榦涉儀%光迴饋%微片激光器%Nd:YAG準共路
회궤간섭의%광회궤%미편격광기%Nd:YAG준공로
微片激光器具有极高的光回馈敏感度,在回馈测量技术中占据重要地位.准共路激光回馈干涉技术在保持了微片激光器的高光回馈灵敏度以及外差式光回馈相位测量方法的高分辨率等优点的同时,通过频率复用技术消除了回馈干涉仪的空程带来的负面影响,大幅度地提高了回馈干涉仪的抗环境干扰能力.它可以进行非配合目标的非接触式精密位移测量,从而填补了现有激光干涉仪在精密位移测量应用方面的一个空白.通过与Agilent5529A双频激光干涉仪多次比对,得到回馈干涉仪目前达到的指标为:线性度优于3×10-5,量程50mm,标准差在200 nm左右.
微片激光器具有極高的光迴饋敏感度,在迴饋測量技術中佔據重要地位.準共路激光迴饋榦涉技術在保持瞭微片激光器的高光迴饋靈敏度以及外差式光迴饋相位測量方法的高分辨率等優點的同時,通過頻率複用技術消除瞭迴饋榦涉儀的空程帶來的負麵影響,大幅度地提高瞭迴饋榦涉儀的抗環境榦擾能力.它可以進行非配閤目標的非接觸式精密位移測量,從而填補瞭現有激光榦涉儀在精密位移測量應用方麵的一箇空白.通過與Agilent5529A雙頻激光榦涉儀多次比對,得到迴饋榦涉儀目前達到的指標為:線性度優于3×10-5,量程50mm,標準差在200 nm左右.
미편격광기구유겁고적광회궤민감도,재회궤측량기술중점거중요지위.준공로격광회궤간섭기술재보지료미편격광기적고광회궤령민도이급외차식광회궤상위측량방법적고분변솔등우점적동시,통과빈솔복용기술소제료회궤간섭의적공정대래적부면영향,대폭도지제고료회궤간섭의적항배경간우능력.타가이진행비배합목표적비접촉식정밀위이측량,종이전보료현유격광간섭의재정밀위이측량응용방면적일개공백.통과여Agilent5529A쌍빈격광간섭의다차비대,득도회궤간섭의목전체도적지표위:선성도우우3×10-5,량정50mm,표준차재200 nm좌우.
