碳管炉真空系统的检漏
탄관로진공계통적검루
Leak detection for the vacuum system of carbon tube furnace
  • 万方数据
    真空 진공
    VACUUM
    2011年 6期 69-71 ,共3页

    贾佳林%熊晓梅%纪平%李高山%闫果%李成山

    가가림%웅효매%기평%리고산%염과%리성산

    压升率%真空%检漏%氦质谱检漏 壓升率%真空%檢漏%氦質譜檢漏
    압승솔%진공%검루%양질보검루
    本文主要论述了碳管炉真空系统的组成及特点,利用静态压升检漏法和氦质谱检漏两种手段评定碳管炉密封性的好坏,此方法对真空热处理设备及类似装备的设计、检漏具有很好的指导意义.
    본문주요논술료탄관로진공계통적조성급특점,이용정태압승검루법화양질보검루량충수단평정탄관로밀봉성적호배,차방법대진공열처리설비급유사장비적설계、검루구유흔호적지도의의.
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