MEMS中薄膜热物性测试方法研究
MEMS중박막열물성측시방법연구
Study of Measurement Methods on Thin-film Thermophysical Properties for MEMS Applications
  • 万方数据
    仪表技术与传感器 의표기술여전감기
    INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
    2003年 2期 6-11,14 ,共7页

    唐祯安%黄正兴%顾毓沁%朱德忠

    당정안%황정흥%고육심%주덕충

    薄膜%热物性%测试方法%MEMS 薄膜%熱物性%測試方法%MEMS
    박막%열물성%측시방법%MEMS
    介绍关于薄膜热物性的测试方法,分析了各种方法的适用条件,并对一些方法所得的薄膜热物性作了汇总比较,旨在促进MEMS中薄膜热物性测试工作的进一步发展.
    개소관우박막열물성적측시방법,분석료각충방법적괄용조건,병대일사방법소득적박막열물성작료회총비교,지재촉진MEMS중박막열물성측시공작적진일보발전.
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