Gax In1-xP缓冲层组分对InP自组装形貌影响的研究
Gax In1-xP완충층조분대InP자조장형모영향적연구
Study on the metamorphosis of InP self-organized islands grown on GaxIn1-xP buffer layers
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2005年 4期 1726-1730 ,共5页

    王浩%曾谷城%廖常俊%蔡继业%郑树文%范广涵%陈勇%刘颂豪

    왕호%증곡성%료상준%채계업%정수문%범엄함%진용%류송호

    自组装%形貌%表面能%金属有机物化学气相沉积 自組裝%形貌%錶麵能%金屬有機物化學氣相沉積
    자조장%형모%표면능%금속유궤물화학기상침적
    应用缓冲层对自组装结构的作用能Er和自组装结构表面能E8 的协同作用分析了InP自组装结构在GaxIn1-xP缓冲层表面的形貌变化.计算发现缓冲层组分影响自组装结构的形貌.随着缓冲层与InP自组装结构之间应力的增加,InP岛倾向于拉长.理论计算还发现随着自组装结构体积的增大,自组装结构也随之拉长.而且缓冲层的参数决定了自组装结构最小能量状态时的体积大小.应用金属有机物化学气相沉积技术在GaAs衬底上生长了不同的InP/GaInP体系,并对实验得到的自组装体系形貌进行了分析.实验结果证实了以上的理论分析.
    응용완충층대자조장결구적작용능Er화자조장결구표면능E8 적협동작용분석료InP자조장결구재GaxIn1-xP완충층표면적형모변화.계산발현완충층조분영향자조장결구적형모.수착완충층여InP자조장결구지간응력적증가,InP도경향우랍장.이론계산환발현수착자조장결구체적적증대,자조장결구야수지랍장.이차완충층적삼수결정료자조장결구최소능량상태시적체적대소.응용금속유궤물화학기상침적기술재GaAs츤저상생장료불동적InP/GaInP체계,병대실험득도적자조장체계형모진행료분석.실험결과증실료이상적이론분석.
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