光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2007年
5期
926-929
,共4页
刘丹%黄惠杰%任冰强%徐德衍%曾爱军%王向朝
劉丹%黃惠傑%任冰彊%徐德衍%曾愛軍%王嚮朝
류단%황혜걸%임빙강%서덕연%증애군%왕향조
光学检验%扫描型哈特曼检测装置%靶镜%能量集中度%波像差
光學檢驗%掃描型哈特曼檢測裝置%靶鏡%能量集中度%波像差
광학검험%소묘형합특만검측장치%파경%능량집중도%파상차
提出了一种利用扫描型哈特曼检测装置检验靶镜光学质量的技术.该装置对传统哈特曼检验装置的光阑进行了改进,通过扫描型哈特曼光阑的旋转扫描,可对被检靶镜全口径范围内连续采样.利用该扫描型哈特曼检测装置对一块口径为φ270 mm的非球面靶镜的能量集中度和波像差进行了检验,其结果与激光数字波面干涉仪的测量结果相吻合,其中能量集中度的相对测量误差为7.7%,波像差的相对测量误差为10.2%,验证了该检测技术的有效性.
提齣瞭一種利用掃描型哈特曼檢測裝置檢驗靶鏡光學質量的技術.該裝置對傳統哈特曼檢驗裝置的光闌進行瞭改進,通過掃描型哈特曼光闌的鏇轉掃描,可對被檢靶鏡全口徑範圍內連續採樣.利用該掃描型哈特曼檢測裝置對一塊口徑為φ270 mm的非毬麵靶鏡的能量集中度和波像差進行瞭檢驗,其結果與激光數字波麵榦涉儀的測量結果相吻閤,其中能量集中度的相對測量誤差為7.7%,波像差的相對測量誤差為10.2%,驗證瞭該檢測技術的有效性.
제출료일충이용소묘형합특만검측장치검험파경광학질량적기술.해장치대전통합특만검험장치적광란진행료개진,통과소묘형합특만광란적선전소묘,가대피검파경전구경범위내련속채양.이용해소묘형합특만검측장치대일괴구경위φ270 mm적비구면파경적능량집중도화파상차진행료검험,기결과여격광수자파면간섭의적측량결과상문합,기중능량집중도적상대측량오차위7.7%,파상차적상대측량오차위10.2%,험증료해검측기술적유효성.
